真空鍍膜儀的污染來源有哪些

真空鍍膜儀是由許多精密的零部件所組成的，這些零部件均經過許多機械加工流程而制作出來，如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作，導致設備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發，從而對設備的極限真空造成影響。

此外，這些機械加工帶來的真空污染物在大氣壓環境中吸附大量的氣體，而到了真空狀態下，這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來，成為限制真空系統的極限真空的一大主要因素。為此，在真空鍍膜機零件組裝之前，必須先將污染物清除掉。

在使用真空設備過程中，其零部件還會受污染。不過這種來源的污染主要是使用條件、真空泵兩方面造成的。

1、真空規管的燈絲在高溫條件下蒸發，將導致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜，對其絕緣強度有一定的損壞，對其測量的準確性也有一定的影響；

2、由于高溫蒸發，會使真空中的電子槍的燈絲附近表面形成一層金屬膜；

3、由于工件濺射，離子束刻蝕設備的內壁會被濺散物所污染；

4、真空蒸發鍍膜設備的內壁會被其蒸鍍靶材材料污染；

5、經常使用真空干燥系統，該系統會受蒸發出來的物質所污染；

6、真空鍍膜儀中的擴散泵油、機械泵油等更是一大主要污染來源，鍍膜機長期工作后，設備內部可能會形成一層油膜。

綜上所述，設備的真空衛生涉及到真空設備、真空系統、真空工藝生產等各方面與環節，涉及到了真空鍍膜儀本身和特殊真空工藝對使用條件的要求，因此，真空污染是一個值得被重視的問題，因為這些污染會影響設備性能，應注意定期或隨時進行清潔工作。